酸化拡散炉は、太陽電池製造の重要なプロセス装置です。 微量のホウ素、リン、その他の元素を高温でシリコンウェーハ上に混合および拡散させて PN 接合を準備し、そこから集積回路を構成します。 シリコンウェーハの表面に SiOx 膜を形成してウェーハを保護する場合にも使用できます。酸化を行う拡散炉の内部温度を制御するには、炉の内側と外側の両方の部分を測定する熱電対を使用するのが一般的です。プロセス。 指定された各温度ゾーンには外側と内側の熱電対があり、測定結果の信頼性を確保します。 マルチポイント貴金属石英熱電対はウェーハ温度の測定に使用され、通常 3 ～ 9 の測定点があり、ウェーハ温度を正確に表します。

 

 

この目的を達成するために、Duchin は拡散炉内のセクション全体の温度測定用の多点貴金属石英熱電対や多点熱電対の校正装置などの独自の技術と製品を開発しました。

この製品は、信頼性の高い温度測定、高精度、優れた安定性、高速熱応答、干渉防止、高温および低温の耐衝撃性、長寿命などのいくつかの特徴を備えています。 マルチポイント貴金属石英熱電対の技術パラメータは次のとおりです。

技術的パラメータ	内部熱電対
タイプ	S,R
ワイヤまたは MIMS の直径	φ0.35~0.5
作業温度(度)	0~1100
精度(度)	±1.0
保護管長さ(mm)	4000以下
保護管径(mm)	φ12~18
保護チューブ材質	石英
ホットエンド構é€	露出
ポイント数	3～6点
終了	小型コネクタ
補償線	SC{{0}}×0.5FPF
構造の特徴	T/Cをポイントごとに組み合わせて組み立てるのは非常に困難

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

http://ja.duchinsensors.com/